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| 機型名稱 | 尺寸 (mm)※1 |
額定推力 (N) |
*大搬運重量(kg) | *高速度 (mm/sec) |
反復定位精度 (μm) |
行程 （mm) |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MF7 |
小型 | W85.8 × H80 |
37 | 10(7)※2 | 2500 | ±5 | 100～4000 |
| MF7D |
100～3800 | ||||||
| MF15 |
W100 × H80 |
54 | 30(15)※2 | 300～4000 | |||
| MF15D |
100～3800 | ||||||
| MF20 |
中型 | W150 × H80 |
86 | 40(20)※2 | 150～4050 | ||
| MF20D |
150～3850 | ||||||
| MF30 |
125 | 60(30)※2 | 100～4000 | ||||
| MF30D |
150～3750 | ||||||
| MF75 |
大型 | W210 × H100 |
260 | 160 (75)※2 |
1000～4000 | ||
| MF75D |
680～3680 | ||||||
