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大型液晶玻璃基板搬運機器人
負載:50KG
動態范圍:1675mm
控制柜:DX100
用途:搬運、潔凈室
適用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬運。
*1:依據JIS B8432標準
*大化利用長距離上下屈伸、低pass line以及雙手臂的特性,實現潔凈室內多層液晶玻璃基板箱體內的高速搬運。
項目
規格
名稱
MOTOMAN-MFL2200D
機型
YR-MFL050D-A20
構造
水平多關節形(4個自由度)
負載
50kg/手臂
重復定位精度*1
±0.2mm
動作范圍
U軸(上下軸)
2650mm
S軸(回轉軸)
-215°~+215°
L,R軸(前后軸)
-1675mm~+1675mm
動作時間*1
(*高速度運作時)
U軸(上下軸)
*大1330mm/s
S軸(回轉軸)
3.14rad/s,180°/s
L,R軸(前后軸)
*大3250mm/s
容許力矩
L,R軸(前后軸)
250N·m
容許慣性力矩(CD2/4)
L,R軸(前后軸)
50kg·m2
標準噴涂色
孟塞爾munsell N9.5
本體質量
1020kg
潔凈度
ISO4
安置環境
溫度
+15~+25°C
濕度
20~80%RH(不結露)
振動
4.9m/s2以下
其他
·環境沒有引火性及腐蝕性氣體,液體
·遠離水
·遠離電子噪音源
·安裝機器人水平面水平度在0.5mm以下
電源容量*3
3.5kVA
*2:潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下,來確保工件搬運面以上潔凈度。
*3:根據用途、作業形式會有所不同。