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霍尼韋爾提供：
| 氣體質量流量傳感器 |  霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列——高精度，±50 SCCM 至 ±750 SCCM |
霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列——高精度，10 SLPM 至 300 SLPM |
|---|---|---|
| 信號調節 | 放大、補償 | 放大、補償 |
| 技術 | 具有絕熱加熱器的硅片 | 具有絕熱加熱器的硅片 |
| 流量/壓力范圍 | 0 SCCM 至 ±50 SCCM 0 SCCM 至 ±100 SCCM 0 SCCM 至 ±200 SCCM 0 SCCM 至 ±400 SCCM 0 SCCM 至 ±750 SCCM |
0 SLPM 至 10 SLPM 0 SLPM 至 15 SLPM 0 SLPM 至 20 SLPM 0 SLPM 至 50 SLPM 0 SLPM 至 100 SLPM 0 SLPM 至 200 SLPM 0 SLPM 至 300 SLPM |
| 總誤差帶 | 低至 ±0.25 %FSS | 10 SLPM 至 200 SLPM：4.0% 讀數 300 SLPM:7.0% 讀數 |
| 輸出 | 模擬 (Vdc)，數字（I2C） | 數字（I2C） |
| 功耗 | 3.3 Vdc：典型值：40 mW（無負載）（模擬） 典型值：23 mW（無負載）（數字） 5.0 Vdc：典型值：55 mW（無負載）（模擬） 典型值：38 mW（無負載）（數字） |
3 Vdc：*大 60 mW 10 Vdc：*大 200 mW |
| 端口類型 | 長接口緊固件安裝 短接口緊固件安裝 短接口卡扣式安裝 |
歧管安裝 22 mm OD 錐形螺頭 G 3/8 母螺紋接頭 |
| 支持的介質 | 無腐蝕性干燥氣體 | 無腐蝕性干燥氣體 |
| 補償溫度范圍 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] |
0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] |
| 工作溫度范圍 | -20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F] |
-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F] |
